CAS：13465-71-9
中文别名：
英文别名：Trifluorosilaneintetrafluorosilane;SiHF3;TRIFLUOROSILANE: 20-SOLUTION IN TETRAFLUOROSILANE;20-SOLUTION IN TETRAFLUOROSILANE;
分子式：F3HSi
分子量：86.0886
精确质量：85.98
Psa：0.0
Logp：0.6121

沸点：-97.5ºC
熔点：-131ºC

安全说明：3/7-9-24/25-38-45
危险类别码：R26; R35
危险品运输编码：UN 1859

生产方法
SiHCl3＋SbF3→SiHF3＋SiHCl2F＋SiHClF2主要产物为SiHF3，产率可达90％，后二者含量较少。SiHF3在液氮温度下不稳定，发生分解反应：4SiHF3→SiH4＋3SiF4。