四氟化硅（化学式：SiF4）是最常见的硅氟化物。无色气体，遇水发生水解生成氟硅酸，在潮湿空气中发烟。沸点仅高于熔点4°C。首先由戴维在1812年合成。 应用于微电子行业和有机合成中。 火山爆发时的烟雾中也含有大量的四氟化硅。

CAS：7783-61-1
中文别名：氟化硅(IV);氟化硅;
英文别名：tetrafluorosilan;Silane,tetrafluoro;UN1859;solicon tetrafluoride;silicon tetrachloride;silicon fluoride;silicon tetrafluoride;EINECS 232-015-5;Perfluorosilane;
分子式：F4Si
分子量：104.079
精确质量：103.971
Psa：0.0
Logp：1.3

EINECS号：232-015-5

外观与性状：无色气体,带有辛辣气味
密度：1.66
沸点：86 °C
熔点：-90°C
折射率：1.207
储存条件：库房通风低温干燥,轻装轻卸

RTECS号：VW2327000
安全说明：S7/9-S24/25-S45-S36/37/39-S26-S23
危险类别码：R26
危险品运输编码：1859
危险类别：2.3
危险品标志：C; T+
信号词：Danger
危险标志：GHS05, GHS06
危险性描述：H300 + H310 + H330; H314
危险性防范说明：P260; P264; P280; P284; P301 + P310; P302 + P350
补充危害声明：与水接触释放出有毒气体，遇水反应剧烈。

用途
用于氟硅酸及氟化铅的制取，也用作水泥和人造大理石的硬化剂，制造纯硅的中间体。