三氯氢硅是一种无机化合物，化学式为SiHCl3。

CAS：10025-78-2
中文别名：三氯硅烷;
英文别名：trichlorosilyl hydride;Silicochloroform;siliciumchloroform;triclorosilano;trichlorsilan;trichloorsilaan;Silane,trichloro;trichloro-silan;trichlorohydrosilane;tri-chlorosilane;silanea-19;silici-chloroforme;
分子式：Cl3HSi
分子量：135.452
精确质量：133.891
Psa：0.0
Logp：1.42

MDL号：MFCD00011518
EINECS号：233-042-5

外观与性状：液体
密度：1.342g/mLat 25°C(lit.)
沸点：32-34°C(lit.)
熔点：-127 °C
闪点：7°F
折射率：1.4-1.402
水溶解性：decomposes
稳定性：Stable, but extremely flammable. Pyrophoric - spontaneously ignites in air. Explosion hazard in air - note wide explosion limits. Reacts violently with water. Incompatible with moisture, acids, bases, strong oxidizing agents, alcohols, amines.
储存条件：库房通风低温干燥,与氧化剂、酸类分开存放
蒸汽密度：1 (vs air)
蒸汽压：9.75 psi ( 20 °C)

RTECS号：VV5950000
安全说明：S16-S26-S36/37/39-S43-S45-S7/9-S43A
WGK Germany：1
危险类别码：R12; R14; R17; R20/22; R29; R35
危险品运输编码：UN 1295 4.3/PG 1
危险类别：4.3
包装等级：I
危险品标志：F+; C
信号词：Danger
危险性描述：H224; H250; H302 + H332; H314
危险标志：GHS02, GHS05, GHS07
补充危害声明：与水接触释放出有毒气体，遇水反应剧烈。
危险性防范说明：P210; P280; P303 + P361 + P353; P305 + P351 + P338; P370 + P378; P422

生产方法
1.沸腾氯化法 硅粉经干燥后加入氯化沸腾炉，与通人炉中的干燥氯化氢气体在340℃进行反应。生成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去蒸馏塔分离四氯化硅，由蒸馏塔出来的三氯氢硅气体经冷凝，制得三氯氢硅成品。 用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体硅、单晶硅的原料，随着有机硅烷偶联剂工业的发展而出现供不应求，生产量越来越大。
用途
用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体硅、单晶硅的原料，随着有机硅烷偶联剂工业的发展而出现供不应求，生产量越来越大。