• 10025-78-2
    三氯氢硅
  • 1333-74-0
    氢气
  • 13966-57-9
    chlorosilane
  • 7440-21-3
    硅
  • 4109-96-0
    二氯硅烷
  • 参考文献

    GB609134 , ; C. A., , p. 6090 US2406605 , ; C. A., , p. 7236

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