三甲基硅烷或三甲基硅化氢，是一种有机硅化合物，化学式为C3H10Si，结构简式(CH3)3SiH。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。

CAS：993-07-7
中文别名：
英文别名：SILICON TRIMETHYL;trimethylsilicon;Trimethylsilyl hydride,2-Methyl-2-silapropane;trimethyl-silane;2-Methyl-2-silapropane;trimethyl-silan;Silane, trimethyl-;
分子式：C3H10Si
分子量：74.197
精确质量：74.0552
Psa：0.0
Logp：1.1029

EINECS号：213-603-0

密度：0.63
沸点：6.7ºC
熔点：-135.9ºC
闪点：<-29ºC

安全说明：9-16-26-33
危险类别码：R12
海关编码：2931900090
危险品运输编码：UN 3161