四氟化钛是一种无机化合物，化学式为TiF4。它是一种无色有吸湿性的固体。与其他钛卤化物相比，它采用了八面体配位的钛聚合物结构。

CAS：7783-63-3
中文别名：头孢呋辛酸;氟化钛(IV);
英文别名：titanium fluoride;
分子式：F4Ti
分子量：123.861
精确质量：123.942
Psa：0.0
Logp：1.6808

UNII：T08RW8YRG1

外观与性状：白色粉末
密度：2.798g/mLat 25°C(lit.)
沸点：284°C
熔点：>400°C
稳定性：Stable at room temperature in closed containers under normal storage and handling conditions. Moisture sensitive.
储存条件：Keep container closed when not in use. Store in a cool, dry, well-ventilated area away from incompatible substances. Store protected from moisture.

安全说明：S26-S27-S28-S36/37/39-S45
危险类别码：R20/21/22; R34
WGK Germany：3
危险品运输编码：UN 3260 8/PG 2
危险类别：8
包装等级：II
危险品标志：C
信号词：Danger
危险标志：GHS05, GHS07
危险性描述：H302 + H312 + H332; H314
危险性防范说明：P260; P280; P301 + P312 + P330; P303 + P361 + P353; P304 + P340 + P310; P305 + P351 + P338

生产方法
1.以四氯化钛和氟化氢为原料制备四氟化钛，将50%的四氯化钛按化学计量比的量装入铂制或铜制的反应器中，滴加氟化氢使其反应，将反应物静置数小时，再徐徐加热，加热至200℃时蒸馏出含氟化氢的氯化氢，再继续升温至284℃以上使四氟化钛升华，经冷却即得到四氟化钛粉末产品，用密封的铜制容器贮存 用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线。可用作HF氟化CCl4及烯烃异构化等反应的催化剂。
用途
用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线。可用作HF氟化CCl4及烯烃异构化等反应的催化剂。