三甲基氯硅烷（分子式：(CH3)3SiCl），也称氯化三甲基硅烷、氯代三甲基硅烷、三甲基一氯硅烷，室温下为无色液体，是卤代硅烷的一种，在有机合成中有很多用途。 它在无水情况下稳定，但遇水即分解，生成六甲基二硅氧烷和盐酸。 由氯甲烷与硅粉在氯化亚铜存在下反应并精馏提纯获得，也可由亲核性甲基试剂如甲基锂与四氯化硅发生亲核取代反应制得。

CAS：75-77-4
中文别名：氯化三甲矽;三甲基氯;
英文别名：Silane, chlorotrimethyl-;Chlorotrimethylsilane;chloro(trimethyl)silane;
分子式：C3H9ClSi
分子量：108.642
精确质量：108.016
Psa：0.0
Logp：2.0601

EINECS号：200-900-5

外观与性状：无色液体
密度：1.257g/mLat 25°C
沸点：57°C(lit.)
熔点：−40°C(lit.)
闪点：104°F
折射率：n20/D 1.500
水溶解性：REACTS
稳定性：Stable. Highly flammable - note low flash point. Reacts violently with water. Incompatible with water, moisture, strong oxidizing agents, strong acids, strong bases, aldehydes, alcohols, amines, esters, ketones.
储存条件：库房通风低温干燥,与氧化剂、酸类分开存放
蒸汽密度：3.7 (vs air)
蒸汽压：100 mm Hg ( 25 °C)

RTECS号：VV2710000
安全说明：S26-S36/37/39-S45-S16-S36/37
WGK Germany：2
危险类别码：R11; R14; R21; R34
海关编码：29310095
危险品运输编码：UN 2924 3/PG 2
危险类别：3
包装等级：II
危险品标志：C
信号词：Danger
危险性防范说明：P210; P260; P280; P305 + P351 + P338; P370 + P378; P403 + P235
补充危害声明：对呼吸道有腐蚀性，会形成爆炸性的过氧化物，遇水反应剧烈。
危险性描述：H225; H301 + H331; H312; H314
危险标志：GHS02, GHS05, GHS07, GHS08

生产方法
1.氯甲烷与硅粉在氯化亚铜催化下一步直接合成,生成甲基氯硅烷混合物,经精馏提纯可得三甲基氯硅烷及其他单体。实验室制备可将四甲基硅烷与乙酰氯在三氯化铝存在下反应。 1.用作硅酮油制造的中间体、憎水剂、分析用试剂。
用途
1.用作硅酮油制造的中间体、憎水剂、分析用试剂。