四氟化碳，又称为四氟甲烷、Freon-14及R 14，是一种卤代烃（化学式：CF4）。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳，也可以被视为一种无机化合物。 零下198°C时，四氟化碳具有单斜的结构，晶格常数为a = 8.597, b = 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm), β = 118.73° 。

CAS：75-73-0
中文别名：四氟化碳;
英文别名：Tetrafluor-methan;Tetrafluorkohlenstoff;Methane,tetrafluoro;Tetrafluorocarbon;perfluorocarbon;Refrigerant 14;Freon 14;Perfluoromethane;Carbon fluoride;CARBON TETRAFLUORIDE;Methane, tetrafluoro-;Fluorocarbon 14;Halon 14;
分子式：CF4
分子量：88.0043
精确质量：87.9936
Psa：0.0
Logp：1.4757

UNII：94WG9QG0JN

外观与性状：无色气体
密度：3.04 (vs air)
沸点：−130°C(lit.)
熔点：−184°C(lit.)
折射率：1.113 (-53ºC)
稳定性：Stable. Incompatible with zinc, alkaline earth metals, Group I metals, aluminium and its alloys. Non-flammable.
储存条件：库房通风低温干燥,与易燃物分开存放
蒸汽密度：3.04 (vs air)

RTECS号：FG4920000
安全说明：S38
WGK Germany：3
危险品运输编码：UN 1982 2.2
危险类别：2.2
危险品标志：F

生产方法
1.由碳与氟反应,或一氧化碳与氟反应,或碳化硅与氟反应,或氟石与石油焦在电炉里反应,或二氟二氯甲烷与氟化氢反应,或四氯化碳与氟化银反应,或四氯化碳与氟化氢反应,都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行,反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体,再通过冷冻,用硅胶除去气体中的水分,最后经精馏而得成品。 1.用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体,用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。
用途
1.用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体,用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。