四甲基氢氧化铵（TMAH或TMAOH）是一种分子式为 N(CH3)4+ OH− 的季铵碱，也是这类化合物中最简单的一种。这种物质只在五水合物时是一种相对稳定的固体形态。商业上，TMAH通常以浓的水或甲醇溶液的形式销售。其固体和溶液均为无色，不纯时为黄色。纯净的TMAH几乎没有气味，但样品常有强烈的鱼腥味，因其含有三甲胺的不纯物。TMAH有大量、广泛的工业和科研用途，例如在黄光制程中当显影液(去光阻液)。

CAS：75-59-2
中文别名：四甲基氢氧化铵溶液;四甲;显影液TMAH;
英文别名：Developer;TMAH;AR-300-49;tetreamethyl ammonium hydroxide;nmw-w;TRITONNE;ocg945;AZ-300MIF;TMNOH;nmd3;AZ-726;
分子式：C4H13NO
分子量：91.1521
精确质量：91.0997
Psa：23.06
Logp：0.1456

UNII：5GKP7317Q2

外观与性状：无色结晶（常含三、五等结晶水），熔点68-71℃，极易吸潮，在空气中能迅速吸收二氧化碳，130℃时分解为甲醇和三甲胺，通常使用有10％；25％水（或醇）溶液和含结晶水化合物。
密度：0.866g/mLat 25°C
沸点：110 °C
熔点：°C
闪点：80°F
折射率：n20/D 1.384
稳定性：Stable. Flammable. Incompatible with strong oxidizing agents, strong acids.
储存条件：2-8°C
蒸汽压：17.5 mm Hg ( 20 °C)

RTECS号：PA0875000
安全说明：S45-S36/37/39-S26-S16-S36/37
WGK Germany：1
危险类别码：R20/21/22; R34
海关编码：2923900090
危险品运输编码：UN 3286 3/PG 2
危险类别：3
包装等级：II
危险品标志：T; C
危险标志：GHS05, GHS06, GHS08, GHS09
危险性防范说明：P260; P280; P301 + P310 + P330; P303 + P361 + P353; P304 + P340 + P310; P305 + P351 + P338; P308 + P311
信号词：Danger
危险性描述：H300 + H310; H314; H370; H372; H411

用途
极谱分析。