氟甲烷，也称为甲基氟、氟利昂41、HFC-41，其化学式为CH3F，在常温常压下是无毒、可液化的可燃气体，是甲烷的一氟取代物。氟甲烷用在半导体及电子产品的制程中，在射频场下氟甲烷会溶解氟离子，可选择性的蚀刻硅化合物的薄膜，即反应性离子蚀刻(reactive-ion etching)。

CAS：593-53-3
中文别名：甲基氟;
英文别名：fluorene-3-carboxylic acid methyl ester;methyl fluorene-3-carboxylate;METHYL FLUORIDE;Fluoren-3-carbonsaeure-methylester;9H-Fluorene-3-carboxylic acid,methyl ester;Methane, fluoro-;methyl ester of fluoren-3-ylcarboxylic acid;
分子式：CH3F
分子量：34.0329
精确质量：34.0219
Psa：0.0
Logp：0.5857

UNII：54A9X6F0CM

外观与性状：无色气体带有一种像醚的气味
密度：0.877 g/cm3
沸点：-79ºC
熔点：-115ºC
折射率：1.212
稳定性：Stable. Extremely flammable. Incompatible with strong oxidizing agents.

危险类别码：R12
危险品运输编码：UN 2454
危险类别：2.1
危险品标志：F+

用途
主要用作制冷剂、麻醉剂。