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化合物简介

Trichlorofluorosilane (Silicon trichloride fluoride) is an inorganic compound. It is used to produce silicon for use in the manufacturing of semiconductor and fiber optic materials.

基本信息

CAS:14965-52-7
中文别名
英文别名:Trichlorfluorsilan;Fluorotrichlorosilane;SiCl3F;Silicon trichloridefluoride;Trichlorofluorosilane;
分子式:Cl3FSi
分子量:153.443
精确质量:151.882
Psa:0.0
Logp:2.1079

编号系统

物化性质

密度:1.477g/cm3
折射率:1.405

安全信息

生产方法及用途

合成路线

  • 参考文献

    International Isotopes Inc. Patent: US2009/69589 A1, 2009 ; Location in patent: Page/Page column 5-6 ;

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图谱

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