1,3-difluoro-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane

1-fluoro-3-hydroxytetramethyldisiloxane

5-fluoro-1,1,3,3,5,5-hexamethyltrisiloxan-1-ol

7-fluoro-1,1,3,3,5,5,7,7-octamethyltetrasiloxan-1-ol