Tris-(chlordimethylsilyl)-amin

二氯二甲基硅烷

二乙氧基二甲基硅烷

Tris-(aethoxy-dimethyl-silyl)-amin

1-(ethoxydimethylsilyl)-3-(3-ethoxy-1,1,3,3-tetramethyldisilazanyl)-2,2,4,4-tetramethylcyclodisilazane