• 10026-04-7
    四氯硅烷
  • 7429-90-5
    铝
  • 7446-70-0
    氯化铝
  • 7440-21-3
    硅
  • 参考文献

    Si: MVol.B, 6, page 12 - 14 US1241796 , ; C. A., , p. 206 US1296575 , ; C. A., , p. 1428 US1238604 , ; C. A., , p. 3000 DE399454 , ; C. II, , p. 1732

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