• 10025-78-2
    三氯氢硅
  • 10026-04-7
    四氯硅烷
  • 13966-57-9
    chlorosilane
  • 7440-21-3
    硅
  • 4109-96-0
    二氯硅烷
  • 参考文献

    US2008/319214 A1, ; Page/Page column 4-5 ;

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