三氟氧磷，又称磷酰氟，是一种有毒气体。

CAS：13478-20-1
中文别名：
英文别名：Phosphoryl trifluoride;EINECS 236-776-4;Phosphoric trifluoride;Phosphorus oxyfluoride;
分子式：F3OP
分子量：103.968
精确质量：103.964
Psa：26.88
Logp：2.003

EINECS号：236-776-4

密度：1.506g/cm3
折射率：1.213
蒸汽压：6630mmHg at 25°C

安全说明：7/9-26-36/37/39-45
危险类别码：R14; R34; R36/37/38
危险品运输编码：UN 3308

生产方法
制法 POCl3+3HF→POF3+3HCl在双颈圆底烧瓶上安装石英冷凝器，冷凝器上口用石英管与液态氧冷却的冷阱相连。冷阱出口接KF干燥管。用一根铁的毛细管穿过橡皮塞进入圆底烧瓶底部。将POCl3放入烧瓶中，加入5%(质量)SbCl5催化剂，将气态的HF通过铁毛细管通入POCl3中，反应温度保持在50～65℃。收集在冷阱中的产物(POF3+3HCl)，可经过几次分馏把它们分离出来。收率约为90%(按POCl3计)。