四甲基氢氧化铵（TMAH或TMAOH）是一种分子式为 N(CH3)4+ OH− 的季铵碱，也是这类化合物中最简单的一种。这种物质只在五水合物时是一种相对稳定的固体形态。商业上，TMAH通常以浓的水或甲醇溶液的形式销售。其固体和溶液均为无色，不纯时为黄色。纯净的TMAH几乎没有气味，但样品常有强烈的鱼腥味，因其含有三甲胺的不纯物。TMAH有大量、广泛的工业和科研用途，例如在黄光制程中当显影液(去光阻液)。

CAS：10424-65-4
中文别名：四甲基化氢氧化铵;四甲基氢氧化铵(TMAH);
英文别名：TetraMethylaMMoniuM Hydroxide Pentahydrate;Methanaminium, N,N,N-trimethyl-, hydroxide, pentahydrate;Tetramethylammonium hydroxide;TMAH Pentahydrate;tetramethylazanium,hydroxide,pentahydrate;
分子式：C4H23NO6
分子量：181.229
精确质量：181.153
Psa：69.21
Logp：-0.1759

BRN号：3714235
PubChem号：24900455
MDL号：MFCD00149566
EINECS号：200-882-9
RTECS号：PA0875000

外观与性状：无色针状晶体
熔点：67-70°C(lit.)
水溶解性：soluble
稳定性：Stable. Incompatible with strong oxidizing agents, strong acids.
储存条件：0-6ºC
蒸汽密度：1.1 (vs air)
蒸汽压：97 mm Hg ( 20 °C)

RTECS号：PA0875000
安全说明：S26-S36/37/39-S45
WGK Germany：1
危险类别码：R20/21/22; R24/25; R34; R44
危险品运输编码：UN 3423 8/PG 2
海关编码：2923900090
危险类别：8
包装等级：II
危险品标志：T; C

用途
作硅橡胶、甲基硅油助剂和极谱分析试剂等。在有机硅方面,作为二甲基硅油,苯甲基硅油,有机硅扩散泵油,无溶剂有硅模塑料,有机硅树脂硅橡胶等的催化剂。在分析方面,作为极谱试剂,在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素,在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。四甲基氢氧化铵作为催化剂,其优点是,反应完后加热升温,可使之分解为气体而赶走不残留在产品中。